异丁基锗烷 - DGSO百科

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异丁基锗烷(IBGe,化学式:(CH3)2CHCH2GeH3)是一种有机锗化合物。它是一种无色不稳定的液体,用于有机金属化学气相沉积法。在张力硅的应用中,异丁基锗烷用于形成沉积的锗薄膜和含锗的半导体薄膜(例如锗化硅)。它还用于制备NANDFlash中的GeSbTe。